应用:
晶圆磨抛专用微粉
晶型及粒度分布极窄,超高等积形含量,确保研磨抛光效率,避免异常颗粒造成划伤;
产品纯净度高,满足客户现今面临的对工件品质的苛刻要求;
粒度规格齐全, 品控技术严谨,保证产品稳定性;
晶型、强度、纯净度、粒度分布均可根据需求精确定制。
可供粒度及型号表 | ||||||
碳化硅晶圆专用粉 TJMD AA/A/B( μm) | ||||||
切割专用粉 | 4-6 | 4-8 | 5-10 | 6-12 | 8-12 | 8-16 |
磨抛专用粉 | 0-0.25 | 0-0.5 | 0-1 | 0.5-1 | 0-2 | 1-2 |
/ | 1-3 | 2-3 | 2-4 | 2-5 | 3-5 |